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驰舰半导体致力于提供给客户极具性价比的半导体设备晶圆生产用机械手臂和冷泵的销售、翻新和维修服务。 此外我们还代理德国Centrotherm公司的半导体制程扩散炉,LPCVD炉。德国Centrotherm公司是世界上最著名的卧式扩散、氧化及LPCVD炉的制造商,在全球各处的半导体制造厂里都有大量的安装应用,可处理4"~12"的硅片,每管处理能力最高可达200片;根据配置不同的工艺气源及温度控制范围,各型号的产品均可用于扩散、LPCVD及氧化等热处理反应工艺。产品的典型应用:·掺杂扩散3or4loopliquiddopant(POCL3orBBR3)·氮化硅SiliconNitride·多晶硅Rampedtemperaturepo 详细
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